論激光調阻技術(shù)的發(fā)展
自20世紀60年代初激光器問(wèn)世一來(lái)，經(jīng)過(guò)20多年的發(fā)展，現已成為一種非常成熟的技術(shù)，廣泛用于混合電路制造業(yè)。目前國內外不少混合電路廠(chǎng)家都采用激光調阻工藝。與其他調阻技術(shù)相比，激光調阻的精度高，效率高。
現代激光技術(shù)是制造高性能混合電路的重要手段，F代激光調阻技術(shù)不僅能對厚膜基片進(jìn)行調阻，而且能對組裝后的混合集成電路進(jìn)行微調，保證電路的功能。隨著(zhù)混合電路向高性能、高可靠和高密度發(fā)展，激光調阻技術(shù)在混合電路制造中的作用日益突出。
它的主要構成為：一臺輸出脈沖頻率可調的調Q脈沖Nd:YAG激光器，輸出波長(cháng)為1.06μm激光，經(jīng)兩軸偏轉后，由光學(xué)系統匯聚成25μm直徑的光斑，照射到載臺上的片式電阻基片上；娮铦{料層受激光加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導電截面積和導電長(cháng)度。高速高精度在線(xiàn)電阻測量系統，測量電阻器的阻值，當阻值達到標稱(chēng)值時(shí)，由電控開(kāi)關(guān)關(guān)斷激光，完成此片式電阻的修整過(guò)程，全過(guò)程用時(shí)5－20ms。由一臺X－Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調。然后，運動(dòng)控制系統驅動(dòng)載片臺向前運動(dòng)一個(gè)行距的位置，重復上述過(guò)程完成第二行調阻，依此類(lèi)推，直至調完一片。所有上述工作在一臺計算機統一控制下，協(xié)調高效地進(jìn)行。激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調、光掩膜的修正、具有分布參數的超高頻電路的微調、光學(xué)度盤(pán)和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域將得到越來(lái)越廣泛的應用。
以上內容由三工整理所得！