激光調阻機之所以是目前為止最精密的調阻設備，是因為很多電路對電阻的阻值要求十分精確，相對誤差要求達到千分之幾甚至萬(wàn)分之幾。激光調阻采用了自動(dòng)化工藝，可以一機抵傳統工藝的多人，減少了大量的人工成本，特別在批量生產(chǎn)時(shí)擁有很大優(yōu)勢。采用電位器調整或人工換電阻的方式，調整一個(gè)產(chǎn)品至少需要3S以上的時(shí)間，而采用激光調阻工藝可能不到1S，一臺激光調阻機比傳統工藝至少可以抵三個(gè)人力，而且精度更高。

激光調阻機的修調控制方式：

1 修調切口類(lèi)型；

電阻修調切口基本形狀包括有:單口直修調,雙口直修調,L形修調,U形修調, L、J、U形修調及其組合。合理選擇這些修調切口類(lèi)型及其組合可以獲得更好的效果。綜合精度、激光掃描速度、穩定性因素及激光束光斑直徑和聚焦穩定性控制難易程度等因素,結合鉑薄膜熱敏電阻制作過(guò)程中的實(shí)際情況。

2 測試原理

在電阻測試中采用的是恒流測壓方法。即施加已知的恒定電流I流過(guò)被測電阻Rt,然后測試出電阻兩端的電壓V,根據公式Rt=V/I就可以計算出電阻值,V是具有極高輸入阻抗的電壓表,它對恒流電流源不產(chǎn)生分流作用。當被測電阻阻值較小時(shí),測試的引線(xiàn)電阻和探針與測試點(diǎn)的接觸電阻與被測電阻相比已不能忽略不計,這時(shí)仍使用兩線(xiàn)測試方法必將導致測試誤差大大增大。在這種情況下就必須采用開(kāi)爾芬聯(lián)接方式(或稱(chēng)四線(xiàn)測試方式)來(lái)進(jìn)行測試。

3 確定蛇型修調切割槽長(cháng)度

對于鉑薄膜而言,由于其電阻率較小,為了得到一定的電阻阻值,就需要較長(cháng)的蛇型修調切割槽長(cháng)度。紫外激光調阻機是利用for…next循環(huán)來(lái)實(shí)現蛇型修調的,本文通過(guò)激光刻蝕實(shí)驗來(lái)確定蛇形修調切割槽的長(cháng)度,也就是用激光調阻機對鉑薄膜進(jìn)行刻蝕,執行不同的刻蝕命令即增加for...next循環(huán)次數,查看不同for...next循環(huán)次數條件下電阻阻值的變化量,然后利用這些電阻阻值的變化量反向推導出微調一定阻值所需的切割槽長(cháng)度。

4 單口直修調

為了進(jìn)一步提高調阻精度,蛇型微調結束后,再進(jìn)行單口直修調,單口直修調與蛇型修調組合在一起,能夠保證鉑薄膜熱敏電阻的阻值精度在0.1%范圍內。由于該方法需測量待修調電阻的阻值,所以調阻速度較慢,一般用在調阻精度要求較高的場(chǎng)合。

20世紀60年代初激光器問(wèn)世一來(lái)，經(jīng)過(guò)20多年的發(fā)展，現已成為一種非常成熟的技術(shù)，廣泛用于混合電路制造業(yè)。國內外不少混合電路廠(chǎng)家都采用激光調阻工藝。與其他調阻技術(shù)相比，激光調阻的精度高，效率高。

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