激光調阻在厚膜、薄膜電路上的應用
激光加工技術(shù)是八十年代后期崛起的一個(gè)新興技術(shù)領(lǐng)域,他集光學(xué),精密機械,電,計算機控制和精密測量等多種技術(shù)于一體。激光調阻機是激光加工設備在電子工業(yè)中的一種應用,用它來(lái)高效地表面貼裝電阻。
激光調阻機是用于片式電阻阻值微調的一種關(guān)鍵設備,由光學(xué)系統,阻值實(shí)時(shí)測量系統,精密機械系統,自動(dòng)上下料系統,計算機控制系統等構成。調組精度可達到1%。在激光調阻機中,光學(xué)系統是非常重要的組成部分,它影響著(zhù)激光光束質(zhì)量,調組的速度和精度。在電子工業(yè)中,激光微加工技術(shù)成為打破半導體技術(shù)的“瓶頸”,的關(guān)鍵技術(shù)。激光調阻機用來(lái)高效的生產(chǎn)膜電阻以及集成電路中的印刷電阻,是激光加工設備在電子工業(yè)中的一種應用。
為了提高厚膜電路的精度,必須進(jìn)行阻值調整,由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準確性,基板表面的不均勻及燒結條件的不重要性,厚膜電阻常出現正負誤差,如果阻值超過(guò)標稱(chēng)值將無(wú)法修正,但是,一般情況下印刷燒成后阻值低于目標值的大約30%,所以要通過(guò)激光調整達到目標值。
激光調阻原理就是利用一束極細的激光束打在厚、薄膜電阻上,通過(guò)對電阻體氣化蒸發(fā)實(shí)現厚、薄膜電路的切割。激光束按計算機預定的程序切割厚、薄膜電阻,通過(guò)改變厚、薄膜電阻的幾何形狀從而改變電阻的阻值。隨著(zhù)激光切割過(guò)程的進(jìn)行,同時(shí)實(shí)時(shí)測量電路實(shí)時(shí)監視厚、薄膜電阻阻值的變化,厚、薄膜電阻的阻值不斷接近目標阻值,當厚、薄膜電阻達到目標阻值后激光束關(guān)閉,即實(shí)現激光調阻過(guò)程。
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