在濺射壓力傳感器的生產(chǎn)工藝中，需要使用激光調阻機來(lái)修正橋臂電阻的阻值，使橋臂電阻之間的阻值匹配，這個(gè)調節電阻匹配的過(guò)程和一般的片式電阻器的調整過(guò)程基本相同，因此，在壓力傳感器的調阻過(guò)程中產(chǎn)生的問(wèn)題可以從片式電阻的調阻原理和阻值漂移的原因來(lái)分析。

   激光調阻機是一種精密的激光微調設備，它通過(guò)短脈沖激光掃描切割，改變電阻體的導電截面積，達到把低于目標阻值的電阻體修調到阻值允許的偏差范圍內，適用于片狀電阻的快速大規模生產(chǎn)。它的主要構成為：一臺輸出脈沖頻率可調的調Q脈沖Nd:YAG激光器， 輸出波長(cháng)為1.06μm激光，經(jīng)兩軸偏轉后，由光學(xué)系統匯聚成25μm直徑的光斑，照射到載臺上的片式電阻基片上�；娮铦{料層受激光加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導電截面積和導電長(cháng)度。高速高精度在線(xiàn)電阻測量系統，測量電阻器的阻值，當阻值達到標稱(chēng)值時(shí)，由電控開(kāi)關(guān)關(guān)斷激光，完成此片式電阻的修整過(guò)程，全過(guò)程用時(shí)5－20ms。由一臺X－Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調。然后，運動(dòng)控制系統驅動(dòng)載片臺向前運動(dòng)一個(gè)行距的位置，重復上述過(guò)程完成第二行調阻，依此類(lèi)推，直至調完一片。所有上述工作在一臺計算機統一控制下，協(xié)調高效地進(jìn)行。

電阻器調整后阻值產(chǎn)生漂移的原因

   激光微調電阻阻值是片式電阻生產(chǎn)工藝過(guò)程中的關(guān)鍵工序之一，高能量密度的激光束加熱除了去除部分電阻體外，也引起切口周?chē)娮梵w組織的一些變化，從而導致電阻器調整后阻值產(chǎn)生漂移，生產(chǎn)中必須制定相應的激光加工工藝。分析阻值漂移的原因，歸結起來(lái)如下：

1、激光調整除了使電阻層部分脫落外，還使薄膜切口周邊區段受熱。薄膜的加熱——冷凝循環(huán)通常伴隨著(zhù)薄膜受熱區的退火、氧化和熔化，還可能使薄膜和片基上形成裂紋。激光蒸發(fā)過(guò)程伴隨著(zhù)熔體濺射，其液滴可能落入切口。

2、薄膜阻值產(chǎn)生漂移的基本原因是切口周?chē)嬖谑軣釁^，該受熱區的尺寸與激光輻射焦點(diǎn)的高斯分布特點(diǎn)有關(guān)。隨著(zhù)光斑尺寸、作用時(shí)間和光斑重疊率的減小，阻值的穩定性增加。依穩定性要求確定的切口最佳幾何形狀為：L型切口。

3、在厚膜電阻器中，切口周邊形成的裂紋可能成為影響阻值穩定性差的又一個(gè)重要原因。這些裂紋位于電阻器的受熱區內，裂紋的形成與調阻過(guò)程終止瞬間等離子體消失在薄膜內引起的猝法吸收有關(guān)，在切口末端難以消除。為減小這些裂紋的影響，采用J型切口是比較適宜的，其末端的裂紋處于電阻器不工作的部位。除裂紋外，電阻層在調阻過(guò)程中的組成成分變化也影響到阻值的漂移。

4、影響調阻結果的另一個(gè)因素是切口光潔度，它決定了通過(guò)電阻器的漏電電流。厚膜電阻器的漏泄電阻與YAG激光器的脈沖重復頻率和聲頻調制及抽運功率有關(guān)。激光的脈沖功率降低，蒸發(fā)產(chǎn)物中的液相部分將增加，切口光潔度下降。優(yōu)化激光加工工藝參數，減少熔體份量并消除熔體的濺射，可降低電阻器的漏泄電流。

   激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調、光掩膜的修正、具有分布參數的超高頻電路的微調、光學(xué)度盤(pán)和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域將得到越來(lái)越廣泛的應用。