現代激光技術(shù)是制造高性能混合電路的重要手段，激光器自20世紀60年代初問(wèn)世以來(lái)，經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，現已成為一種非常成熟的技術(shù)，廣泛用于混合電路制造業(yè)和壓阻式傳感器制造業(yè)中電阻的精密修調中。

   現代激光調阻技術(shù)不僅能對厚膜基片進(jìn)行調阻，而且能對組裝后的混合集成電路進(jìn)行微調，保證電路的功能。隨著(zhù)混合電路向高性能、高可靠和高密度發(fā)展，激光調阻技術(shù)在混合電路與壓阻式傳感器制造中的作用日益突出。

   激光調阻機是一種精密的激光微調設備，它通過(guò)短脈沖激光掃描切割，改變電阻體的導電截面積，達到把低于目標阻值的電阻體修調到阻值允許的偏差范圍內，適用于片狀電阻的快速大規模生產(chǎn)。激光調阻機的主要構成為：輸出脈沖頻率可調的調Q脈沖YAG激光器， 由光學(xué)系統匯聚成25μm直徑的光斑，照射到載臺上的片式電阻基片上�；娮铦{料層受激光加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導電截面積和導電長(cháng)度。高速高精度在線(xiàn)電阻測量系統，測量電阻器的阻值，當阻值達到標稱(chēng)值時(shí)，由電控開(kāi)關(guān)關(guān)斷激光，完成此片式電阻的修整過(guò)程。由一臺X－Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調。然后，運動(dòng)控制系統驅動(dòng)載片臺向前運動(dòng)一個(gè)行距的位置，重復上述過(guò)程完成第二行調阻，依此類(lèi)推，直至調完一片。這些工作都是在一臺計算機統一控制下協(xié)調高速地進(jìn)行。

   激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調、光掩膜的修正、具有分布參數的超高頻電路的微調、光學(xué)度盤(pán)和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域將得到越來(lái)越廣泛的應用。