激光微調系統核心組成部分

激光微調系統（激光調阻設備、激光調電阻設備）主要包括以下幾個(gè)部分：  

（1）激光器部分 

用氪激勵的高頻Q開(kāi)關(guān)、Nd:YAG激光器，厚膜修調最小光斑達38μm，脈沖重復頻率為500Hz～50kHz。 

（2）光束定位系統  

分為線(xiàn)性馬達式、開(kāi)環(huán)和閉環(huán)檢流計式等�？刂乒馐赬和Y方向的位置、速度和加速度�？s短光束定位時(shí)間和修調時(shí)間，工作效率高。 

（3）程控衰減系統 

由多個(gè)衰減器組成，以控制在衰減后用于光束游動(dòng)并進(jìn)入紅外相機的輸出信號。 

（4）修調設定器 

它直接與激光器、光束定位器、分步重復臺及測量系統相聯(lián)接。它可以通過(guò)程序改變Q頻率、刻蝕尺寸和改變切割的修調方向，決定阻值變化，而不影響精度。另外，還具有自動(dòng)校正功能，在長(cháng)期工作時(shí)可使修調設定值保持穩定。 

（5）阻值及電壓測定裝置 

采用精密電橋和矩陣組合的測試無(wú)源網(wǎng)絡(luò )，阻值測量精度可達0.02％，測量時(shí)間僅為5ms。這種設計可以防止外界干擾，且由于采用差動(dòng)測量，自動(dòng)消除偏離及極性轉換，還可用來(lái)測定有源電路修調時(shí)的直流電壓。 

（6）自動(dòng)功率測量系統 

激光器功率測量是利用最低限度的中斷通過(guò)測量來(lái)測定。用微機控制螺形管驅動(dòng)系統，激光束通過(guò)衰減器內的100％反射鏡，射向熱電偶器件，然后送到1個(gè)多量程功率計。 

激光微調主要應用方案

簡(jiǎn)易型調阻方案： 

實(shí)現功能：通過(guò)手動(dòng)控制控針，對電組進(jìn)行自動(dòng)精密調節。

1、激光器及控制系統：YAG50激光器 

2、光學(xué)定位系統：XY自動(dòng)控制 

3、阻值測量及控制系統

4、 手動(dòng)控針 

標準型調阻方案： 

實(shí)現功能：通過(guò)自動(dòng)控制控針，對批量電組進(jìn)行自動(dòng)精密調節。 

1、激光器及控制系統：YAG50激光器

2、 光學(xué)定位系統：五維工作方式 

3、阻值測量及控制系統

4、 自動(dòng)控針：自動(dòng)上、下 

5、監控系統：雙路CCD監控 

在線(xiàn)功能調阻方案： 

實(shí)現功能：通過(guò)電路中電組進(jìn)行精密調節，完成電路功能。 

1、激光器及控制系統：YAG50激光器 

2、光學(xué)定位系統：XY自動(dòng)控制

3、阻值測量及控制系統

4、 自動(dòng)控針：手動(dòng) 

5、功能信號接口：根據電路功能要求