激光微調電阻應用方案

     激光加工屬于非接觸加工，它具有熱影響區�。芰棵芏雀撸�、無(wú)污染（不接觸加工工件）、便于自動(dòng)化控制（激光束易于聚焦、導向）、精度高等優(yōu)點(diǎn)，因此在電子工業(yè)中，尤其是在微電子工業(yè)中得到了廣泛的應用。

     用激光微調的電阻是印刷上的一層電阻薄膜，由于絲網(wǎng)印刷操作時(shí)的不準確性，基板表面不均勻以及燒結條件難以重復等原因，絲網(wǎng)印刷電阻制造誤差通�？蛇_15-20％，只有對之進(jìn)行微調才能提高精度、滿(mǎn)足市場(chǎng)要求。激光調阻機是利用激光對膜電阻進(jìn)行精密修調的關(guān)鍵設備。

     激光微調電阻有兩種方案，方法一是對電阻進(jìn)行無(wú)損傷照射，使電阻膜結構發(fā)生變化，從而達到改變阻值的目的；方法二是利用激光束切割，改變電阻膜導電的形狀，從而改變電阻值，以達到把低于目標阻值的電阻體阻值調整到要求的阻值允許的偏差范圍內。在實(shí)際操作中，由于方法一效率低下，不適宜市場(chǎng)化推廣；目前激光調阻采用方法二。

     激光器是激光調阻的核心設備，其功能為發(fā)射激光束切割電阻膜，控制電路部分用來(lái)控制激光束的偏轉及激光器的開(kāi)關(guān)，激光束打在待調電阻上，用來(lái)刻蝕電阻（包括粗調和精調）。

     機械/面板控制部分負責電阻基片載臺的運動(dòng)控制、機械手的運動(dòng)控制、告警信號及面板的鍵盤(pán)輸入。

     激光器是激光調阻機的總控制部分，負責協(xié)調與控制整個(gè)系統。它提供同步信號，負責各部分的同步，同時(shí)負責各部分的初始數據的設置和在工作過(guò)程中監視各部門(mén)的工作狀態(tài)。

     電源系統是提供各部分一次電源，各板根據需要再進(jìn)行二次穩壓、濾波，以減少電源的文波，提高電源的精度，以便提高檢測的精度和系統的穩定性。

     監視器負責見(jiàn)識激光調阻機基片載臺，用來(lái)觀(guān)察激光束以及紅外測溫位置。

     多功能控制器是激光調阻機功能實(shí)現的關(guān)鍵部分之一。多功能控制器主要負責電阻調阻過(guò)程中的實(shí)時(shí)檢測與控制，在測量過(guò)程中，要求檢測精度高、速度快。多功能控制器由溫度監控系統、激勵源（高精度穩恒直流源、連續可調電壓源）、AD采集板、探針板和單片機組成。溫度監控系統實(shí)時(shí)檢測被調電阻的溫度，為熱敏電阻調阻提供溫度參考；高精度穩恒直流源為激光電阻調阻提供可選穩恒直流電流輸出；連續可調電壓源為功能調阻提供0~20V高精度電壓激勵源；AD采集板負責實(shí)時(shí)采集測量信息以及溫度檢測值，根據其控制激光器的調阻進(jìn)程；探針板通過(guò)探針與檢測件鏈接，傳遞激勵源信號與檢測電阻值；單片機為多功能控制器的控制單元。

激光調阻機的工作過(guò)程如下：

（1）探針探測待測電阻（或印刷電路）；

（2）激勵源給待測電阻（或印刷電路）供電；

（3）檢測裝置測量電阻器的阻值或印刷電路的輸出；

（4）激光定位在調整的開(kāi)始點(diǎn)；

（5）激光器發(fā)激光脈沖；

（6）激光器將檢測裝置的測量值與預定值比較，若在公差范圍內則關(guān)閉激光器，否則繼續發(fā)出激光脈沖；

（7）重復該過(guò)程，直到檢測裝置的測量值處于程序中規定的公差范圍內。