激光調阻機在軍工行業(yè)厚膜電路上的應用

  厚膜混合集成電路以其元件參數范圍廣、精度和穩定度高、電路設計靈活性大、研制生產(chǎn)周期短、保密性好等特點(diǎn)，與半導體集成電路相互補充、相互滲透，已成為集成電路的一個(gè)重要組成部分，廣泛應用于軍工行業(yè)電子系統中，特別在是在火箭、導彈等電路中需要承受高溫的惡劣環(huán)境下，厚膜電路有著(zhù)不可替代的重要地位。

  為使厚膜網(wǎng)路達到最佳性能，電阻燒成以后要進(jìn)行激光調阻。激光是在有理論準備和生產(chǎn)實(shí)踐迫切需要的背景下應運而生的，它一問(wèn)世，就獲得了異乎尋常的飛快發(fā)展。目前，激光技術(shù)的應用已廣泛深入到工業(yè)、農業(yè)、軍事、醫學(xué)乃至社會(huì )的各個(gè)方面，對人類(lèi)社會(huì )的進(jìn)步正在起著(zhù)越來(lái)越重要的作用，已成為當今新技術(shù)革命的“帶頭技術(shù)”之一。     

       激光加工技術(shù)屬于非接觸性加工方式，所以不產(chǎn)生機械擠壓或機械應力，特別符合電子行業(yè)的加工要求。另外，還由于激光加工技術(shù)的高效率、無(wú)污染、高精度、熱影響區小，因此在電子工業(yè)中得到廣泛應用。

       激光微調技術(shù)可對指定電阻進(jìn)行自動(dòng)精密微調，精度可達0.01%一0.002%，比傳統方法的精度和效率高，成本低。厚膜混合集成電路中的電阻是一層電阻薄膜，制造誤差達上15一20%，只有對之進(jìn)行修正，才能提高厚膜混合集成電路的成品率。激光可聚焦成很小的光斑，能量集中，加工時(shí)對鄰近的元件熱影響極小，不產(chǎn)生污染，又易于用計算機控制，因此可以滿(mǎn)足快速微調電阻使之達到精確的預定值的目的。優(yōu)越的定位精度，使激光微調系統在小型化精密線(xiàn)形組合信號器件方面提高了產(chǎn)量和電路功能。