激光微調技術(shù)在精密電子中的應用

     激光是在有理論準備和生產(chǎn)實(shí)踐迫切需要的背景下應運而生的，它一問(wèn)世，就獲得了異乎尋常的飛快發(fā)展。激光的發(fā)展不僅使古老的光學(xué)科學(xué)和光學(xué)技術(shù)獲得了新生，而且導致整個(gè)一門(mén)新興科學(xué)技術(shù)的出現——激光技術(shù)。目前，激光技術(shù)的應用已廣泛深入到工業(yè)、農業(yè)、軍事、醫學(xué)乃至社會(huì )的各個(gè)方面，對人類(lèi)社會(huì )的進(jìn)步正在起著(zhù)越來(lái)越重要的作用，已成為當今新技術(shù)革命的“帶頭技術(shù)”之一。     

  激光加工技術(shù)屬于非接觸性加工方式，所以不產(chǎn)生機械擠壓或機械應力，特別符合電子行業(yè)的加工要求。另外，還由于激光加工技術(shù)的高效率、無(wú)污染、高精度、熱影響區小，因此在電子工業(yè)中得到廣泛應用。

  激光微調技術(shù)可對指定電阻進(jìn)行自動(dòng)精密微調，精度可達0.01%一0.002%，比傳統方法的精度和效率高，成本低。集成電路、傳感器中的電阻是一層電阻薄膜，制造誤差達上15一20%，只有對之進(jìn)行修正，才能提高那些高精度器件的成品率。激光可聚焦成很小的光斑，能量集中，加工時(shí)對鄰近的元件熱影響極小，不產(chǎn)生污染，又易于用計算機控制，因此可以滿(mǎn)足快速微調電阻使之達到精確的預定值的目的。加工時(shí)將激光束聚焦在電阻薄膜上，將物質(zhì)汽化。微調時(shí)首先對電阻進(jìn)行測量，把數據傳送給計算機，計算機根據預先設計好的修調方法指令光束定位器使激光按一定路徑切割電阻，直至阻值達到設定值，同樣可以用激光技術(shù)進(jìn)行片狀電容的電容量修正及混合集成電路的微調。優(yōu)越的定位精度，使激光微調系統在小型化精密線(xiàn)形組合信號器件方面提高了產(chǎn)量和電路功能。