激光調阻機在薄膜電阻上微調的技術(shù)特點(diǎn)
隨著(zhù)微電子工業(yè)發(fā)展,對厚、薄膜電路的需要量越來(lái)越大,對精度的要求也越來(lái)越高。激光微調技術(shù)已在很多國家得到應用。
利用激光對薄膜電阻進(jìn)行微調具有以下特點(diǎn)：
1、激光微調屬于非接觸式加工，激光束能量密度高，加工速度快，對基板損傷小，且激光光束照射的電阻表面是局部的，屬于局部加工，對周?chē)廴竞蜔崃坑绊懶，微調后阻值穩定，漂移小。
2、激光束可以聚焦成非常細的光斑，而且可以邊測量邊加工，加工精度高，重復精度好。
3、光束的能量和光束的掃描速度都是可以調節的，故激光微調可以實(shí)現對不同的電阻材料和不同的微調形狀的加工。
4、激光微調具有速度快，易于實(shí)現整個(gè)加工過(guò)程自動(dòng)化。調阻過(guò)程可以完全由計算機控制自動(dòng)完成，因而具有高速、高精度等一系列優(yōu)點(diǎn)。
5、生產(chǎn)效率高，加工質(zhì)量穩定可靠，經(jīng)濟效益和社會(huì )效益好。