激光調阻機系統及修調技術(shù)機理
激光修調是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上，使工件待調部分的膜層氣化切除以達到規定參數或阻值。調阻時(shí)局部溫升使玻璃熔化，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋，可填平基體表面被切割的介質(zhì)。
先進(jìn)的激光調阻機修調系統應用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過(guò)硬件直接與激光器、光束定位、分步重復及測量等系統相連接。測量系統由采用精密電橋和矩陣組合的無(wú)源網(wǎng)絡(luò )組成。
激光調阻機修調系統具有多種修調功能，可以修調混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡(luò )、電容網(wǎng)絡(luò )、瓷基薄膜集成元件，還可以修調D/A和A/D轉換器的精度，V /F轉換器的頻率，有源濾波器的零點(diǎn)頻率及運算放大器的失調電壓等。同時(shí)還具有IEEE488接口，可與其他測試設備進(jìn)行數據傳輸。
先進(jìn)的激光調阻機修調系統主要包括以下幾個(gè)部分：
(1)激光調阻機激光器部分
采用氪激勵的高頻Q開(kāi)關(guān)、Nd:YAG激光器，厚膜修調最小光斑達38μm，脈沖重復頻率為500Hz～50kHz。
(2)光束定位系統
分為線(xiàn)性馬達式、開(kāi)環(huán)和閉環(huán)檢流計式等？刂乒馐赬和Y方向的位置、速度和加速度？s短光束定位時(shí)間和修調時(shí)間，工作效率高。
(3)程控衰減系統
由多個(gè)衰減器組成，以控制在衰減后用于光束游動(dòng)并進(jìn)入紅外相機的輸出信號。
(4)修調設定器
它直接與激光器、光束定位器、分步重復臺及測量系統相聯(lián)接。它可以通過(guò)程序改變Q頻率、刻蝕尺寸和改變切割的修調方向，決定阻值變化，而不影響精度。另外，還具有自動(dòng)校正功能，在長(cháng)期工作時(shí)可使修調設定值保持穩定。
5)阻值及電壓測定裝置
采用精密電橋和矩陣組合的測試無(wú)源網(wǎng)絡(luò )，阻值測量精度可達0.02%，測量時(shí)間僅為5ms。這種設計可以防止外界干擾，且由于采用差動(dòng)測量，自動(dòng)消除偏離及極性轉換，還可用來(lái)測定有源電路修調時(shí)的直流電壓。
(6)自動(dòng)功率測量系統
激光器功率測量是利用最低限度的中斷通過(guò)測量來(lái)測定。用微機控制螺形管驅動(dòng)系統，激光束通過(guò)衰減器內的100%反射鏡，射向熱電偶器件，然后送到1個(gè)多量程功率計。