標準型激光調阻機方案介紹
激光可聚焦成很小的光斑,能量集中,加工時(shí)對鄰近的元件熱影響極小,不產(chǎn)生污染,又易于用計算機控制,因此可以滿(mǎn)足快速微調電阻使之達到精確的預定值的目的加工時(shí)將激光束聚焦在
電阻薄膜上,將物質(zhì)汽化。
微調時(shí)首先對電阻進(jìn)行測量,把數據傳送給計算機,計算機根據預先設計好的修調方法指令光束定位器使激光按一定路徑切割電阻,直至阻值達到設定值,同樣可以用激光技術(shù)進(jìn)行片狀電容
的電容量修正及混合集成電路的微調。優(yōu)越的定位精度,使激光微調系統在小型化精密線(xiàn)形組合信號器件方面提高了產(chǎn)量和電路功能。
標準型激光調阻機方案:
實(shí)現功能:通過(guò)自動(dòng)控制控針,對批量電阻進(jìn)行自動(dòng)精密調節。
1、激光器及控制系統:YAG50激光器
2、光學(xué)定位系統:五維工作方式
3、阻值測量及控制系統
4、自動(dòng)控針:自動(dòng)上、下
5、監控系統:雙路CCD監控