厚膜集成電路是用絲網(wǎng)印刷和燒結等厚膜工藝在同一基片上制作無(wú)源網(wǎng)絡(luò )，并在其上組裝分立的半導體器件芯片或單片集成電路或微型元件，再外加封裝而成的混合集成電路。厚膜混合集成電路是一種微型電子功能部件。

1、特點(diǎn)和應用

  與薄膜混合集成電路相比，厚膜混合集成電路的特點(diǎn)是設計更為靈活、工藝簡(jiǎn)便、成本低廉，特別適宜于多品種小批量生產(chǎn)。在電性能上，它能耐受較高的電壓、更大的功率和較大的電流。厚膜微波集成電路的工作頻率可以達到 4GHz 以上。它適用于各種電路，特別是消費類(lèi)和工業(yè)類(lèi)電子產(chǎn)品用的模擬電路。帶厚膜網(wǎng)路的基片作為微型印制線(xiàn)路板已得到廣泛的應用。

2、主要工藝

  根據電路圖先劃分若干個(gè)功能部件圖,然后用平面布圖方法轉化成基片上的平面電路布置圖，再用照相制版方法制作出絲網(wǎng)印刷用的厚膜網(wǎng)路模板。厚膜混合集成電路最常用的基片是含量為96%和85%的氧化鋁陶瓷；當要求導熱性特別好時(shí)，則用氧化鈹陶瓷�；淖钚『穸葹�0.25毫米，最經(jīng)濟的尺寸為35×35～50×50毫米。在基片上制造厚膜網(wǎng)路的主要工藝是印刷、燒結和調阻。常用的印刷方法是絲網(wǎng)印刷。

  絲網(wǎng)印刷的工藝過(guò)程是先把絲網(wǎng)固定在印刷機框架上，再將模版貼在絲網(wǎng)上；或者在絲網(wǎng)上涂感光膠，直接在上面制造模版,然后在網(wǎng)下放上基片,把厚膜漿料倒在絲網(wǎng)上，用刮板把漿料壓入網(wǎng)孔,漏印在基片上,形成所需要的厚膜圖形。常用絲網(wǎng)有不銹鋼網(wǎng)和尼龍網(wǎng)，有時(shí)也用聚四氟乙烯網(wǎng)。

  在燒結過(guò)程中，有機粘合劑完全分解和揮發(fā)，固體粉料熔融，分解和化合，形成致密堅固的厚膜。厚膜的質(zhì)量和性能與燒結過(guò)程和環(huán)境氣氛密切相關(guān)，升溫速度應當緩慢，以保證在玻璃流動(dòng)以前有機物完全排除；燒結時(shí)間和峰值溫度取決于所用漿料和膜層結構。為防止厚膜開(kāi)裂，還應控制降溫速度。常用的燒結爐是隧道窯。

  為使厚膜網(wǎng)路達到最佳性能，電阻燒成以后要進(jìn)行調阻。常用調阻方法有噴砂、激光和電壓脈沖調整等。