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                  科普課堂-激光調阻機部件說(shuō)明

                  部件名稱(chēng) 部件作用
                  探針電機         用來(lái)控制探針板升降
                  激光器電機  用來(lái)控制激光器升降
                  激光器           用來(lái)產(chǎn)生激光
                  掃描頭         控制激光束運動(dòng)
                  平面電機控制器 控制平面電機運動(dòng)  
                  控制盒      控制整機的供電
                  驅動(dòng)盒     驅動(dòng)探針電機和激光器電機
                  測量盒      提供激勵和測量
                  平面電機   控制載片臺運動(dòng)
                  載片臺  用來(lái)放置電阻陶瓷片基
                  θ角旋轉臺     用來(lái)調節載片臺θ角度
                  探針板           用來(lái)焊接探針
                  工作臺   包含平面電機的動(dòng)子和載片臺
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