精密激光調阻機自二十世紀六十年代初問(wèn)世以來(lái)，歷經(jīng)二十多年的革新和發(fā)展，到現在技術(shù)已經(jīng)相當成熟，被廣泛應用在各個(gè)行業(yè)中，其中具代表性的當屬混合電路制造業(yè)。激光調阻的原理很簡(jiǎn)單，主要是利用激光在電阻體上作用，使其蒸發(fā)實(shí)現厚、薄膜電路的切割，將其電阻的幾何形狀改變后以達到改變阻值的效果。

　　現代激光技術(shù)除了可以改變厚膜基片，同時(shí)也可以對組裝后的混合集成電路進(jìn)行微調。目前激光調阻機的優(yōu)勢十分明顯，因此激光調阻機價(jià)格并不便宜，因其精度易控制，加工自動(dòng)化效率高，適合批量生產(chǎn)。三工精密調阻機的構成 主要包括以下幾個(gè)部分：

　　1、激光調阻機激光器，激光頻率0.5K-50K、平均功率8W@10KHZ(TEM00)脈沖寬度：40ns。

　　2、激光調阻光束定位系統，掃描范圍60mmX60mm，重復定位精度2.5µm，可編程定位方式，相應快速，運動(dòng)效率高。

　　3、XY分步重復系統，直線(xiàn)電機運動(dòng)系統，運動(dòng)范圍290mm*290mm，運動(dòng)加速度1.5G。

　　4、矩陣測量系統，測量范圍0.1Ω-10MΩ(16bit分辨率)，探針板：48PIN，任意定義，兼容ESI進(jìn)口設備，配備IEEE-488(GPIB)接口，可擴展控制外部?jì)x器測量。

　　5、消色差成象系統，成像與激光聚焦在加工幅面內重合，同軸成像無(wú)縫對接，成像質(zhì)量高，紅光LED照明。