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> 新聞資訊 > 首脈沖能量抑制的控制系統在激光調阻中的作用
首脈沖能量抑制的控制系統在激光調阻中的作用
激光調阻中首脈沖能量抑制的控制系統和控制方法，屬于半導體器件的激光精細加工領(lǐng)域。該控制系統包括激光器、光電轉換器、幅度檢測電路模塊、光刻控制器、脈寬可調信號發(fā)生器、掃描振鏡、聚焦透鏡、被調電阻。采用脈寬可調控制技術(shù)，對系列激光脈沖串的首脈沖或前幾個(gè)脈沖能量進(jìn)行抑制，使其等于或低于后續穩定的激光脈沖的能量。使其激光調阻的脈沖控制系統趨于穩定！能夠高效率，高精度進(jìn)行
激光調阻
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