激光微調電阻的工作方式
激光微調是利用數控激光切割機的激光器可聚焦成很小的光斑,能量集中,有選擇的氣化部分材料來(lái)制造微電子元件的一種方法。
用激光對電阻、電容進(jìn)行
精密微調,加工時(shí)對臨近的元件熱影響極小,不產(chǎn)生污染,易于計算機控制,具有速度快、效率高、可連續監控等優(yōu)點(diǎn),與常規微調方法相比,還具有精度高、再現性好和阻值不隨時(shí)間變化的特點(diǎn)。
激光微調廣泛用于厚、薄膜元件和電路的參數微調,包括電阻器、電容器、石英諧振腔、單片濾波器的參數調諧,混合集成電路放大器、分壓器、穩流器、數字模擬與模擬數字交換器、高頻振蕩器、運算放大器等以及石英壓電設備(包括振蕩器、濾波器)的功能調節,半導體集成電路的微調,消除了影響多種集成電路精度的種種限制。
由于激光光束能準確的定向、定位在小尺寸區域內,并以規定的形式結合小的熱作用區,可對薄膜元件進(jìn)行精密單件微調,因加工中沒(méi)有中間(化學(xué))過(guò)程并可在大氣中加工,所以可實(shí)時(shí)檢驗結果,并實(shí)現激光加工過(guò)程的自動(dòng)化,具有精度高、工藝簡(jiǎn)便和高效的特點(diǎn)。