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                  激光調阻機造就高性能厚膜混合集成電路
                   
                     隨著(zhù)高新技術(shù)和多學(xué)科技術(shù)的融合應用,新型傳感器開(kāi)始向小型化,集成化,低成本,高可靠,高性?xún)r(jià)比的方向發(fā)展。微機械加工,微電子工藝,厚膜混合電路等先進(jìn)的制造技術(shù)以其特有的技術(shù)優(yōu)勢在傳感器中的應用日益廣泛,已成為傳感器發(fā)展的主流趨勢。而激光調阻技術(shù)是實(shí)現高性能厚膜混合電路的重要手段,是厚膜電路精密的阻值調阻方法,與其他調阻技術(shù)相比,激光調阻精度高,速度快,效率高,因此,廣泛的應用于混合電路的制造工業(yè)中,具有舉足輕重的作用。
                     激光調阻是把激光器輸出的脈沖激光束聚焦到很小的光點(diǎn),從而產(chǎn)生高能量密度的激光脈沖對電阻體印刷漿料進(jìn)行轟擊,使被切割電阻漿料被迅速氣化掉,從而有效地改變了長(cháng)寬比,最終達到把低于目標值的電阻體阻值修調到目標阻值允許的允差范圍內,達到精確調整電阻體阻值的目的。
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