激光調阻工藝在微電子行業(yè)的發(fā)展
隨著(zhù)微電子行業(yè)的迅猛發(fā)展，激光修調已成為片式電阻和厚薄膜電路生產(chǎn)中不可缺少的一種工藝手段。由于基板表面的不均勻及燒結條件的不重復性，電阻值必然出現誤差。一般激光修調電阻精度可達±0.01%～0.1%甚至更高，并可實(shí)現產(chǎn)品輸出電壓、電流的參數的自動(dòng)調整。具有調整精度高，重復性好，速度快，使用成本低等優(yōu)點(diǎn)。
激光修調原理是把激光器輸出的連續激光，經(jīng)過(guò)調制后變?yōu)槊}沖激光輸出，再通過(guò)光學(xué)聚焦形成更小的光斑，并達到適當的峰值功率和功率密度，在計算機控制下，準確定位在工件指定部位上，對工件待調膜層進(jìn)行切割或氣化。
先進(jìn)的激光修調系統，應具有多種修調功能，不僅可修調厚薄膜電路和混合集成電路，還可修調高精度要求的各類(lèi)傳感條件，以及A/D，D/A轉換器和一些V/F轉換器。