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                  片式電阻的阻值與激光刻蝕路徑的關(guān)系
                   
                     激光對片式電阻的刻蝕路徑直接影響片式電阻的阻值精度,掌握激光刻蝕路徑對片阻阻值的影響可為精調片式電阻阻值提供理論依據。
                     片式電阻因其體積小,精度高,可靠性好等優(yōu)點(diǎn)被廣泛的應用于許多領(lǐng)域,有替代傳統電阻的趨勢。為了保證片式電阻的精度,通常需要對片式電阻的阻值進(jìn)行修調、激光調阻是目前較為精密的電阻阻值修調方法,其基本原理是將適當功率的激光束聚焦在電阻膜上,電阻材料因受高溫,在瞬間即被氣化,隨著(zhù)機關(guān)術(shù)的移動(dòng),電阻膜被切割,電阻體的導電橫截面積減小,阻值上升,激光在電阻膜上的掃描路徑又稱(chēng)為刻蝕路徑。
                     利用有限元法得到的片式電阻與刻蝕路徑的關(guān)系函數的計算偏差不大于2%,基于有限元法的激光刻蝕路徑對片式電阻精度的影響為精調片式電阻阻值提供了控制依據.
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