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                              使用激光調阻機調阻后為何會(huì )產(chǎn)生漂移的現象
                   
                    激光微調電阻阻值是片式電阻生產(chǎn)工藝過(guò)程中的關(guān)鍵工序之一,高能量密度的激光束加熱除了去除部分電阻體外,也引起切口周?chē)娮梵w組織的一些變化,從而導致電阻器調整后阻值產(chǎn)生漂移,生產(chǎn)中必須制定相應的激光加工工藝。分析阻值漂移的原因,歸結起來(lái)如下:
                    1、激光調整除了使電阻層部分脫落外,還使薄膜切口周邊區段受熱。薄膜的加熱——冷凝循環(huán)通常伴隨著(zhù)薄膜受熱區的退火、氧化和熔化,還可能使薄膜和片基上形成裂紋。激光蒸發(fā)過(guò)程伴隨著(zhù)熔體濺射,其液滴可能落入切口。
                    2、薄膜阻值產(chǎn)生漂移的基本原因是切口周?chē)嬖谑軣釁^,該受熱區的尺寸與激光輻射焦點(diǎn)的高斯分布特點(diǎn)有關(guān)。隨著(zhù)光斑尺寸、作用時(shí)間和光斑重疊率的減小,阻值的穩定性增加。依穩定性要求確定的切口理想幾何形狀為:L型切口。
                    3、在厚膜電阻器中,切口周邊形成的裂紋可能成為影響阻值穩定性差的又一個(gè)重要原因。這些裂紋位于電阻器的受熱區內,裂紋的形成與調阻過(guò)程終止瞬間等離子體消失在薄膜內引起的猝法吸收有關(guān),在切口末端難以消除。為減小這些裂紋的影響,采用J型切口是比較適宜的,其末端的裂紋處于電阻器不工作的部位。除裂紋外,電阻層在調阻過(guò)程中的組成成分變化也影響到阻值的漂移。
                    4、影響調阻結果的另一個(gè)因素是切口光潔度,它決定了通過(guò)電阻器的漏電電流。厚膜電阻器的漏泄電阻與YAG激光器的脈沖重復頻率和聲頻調制及抽運功率有關(guān)。激光的脈沖功率降低,蒸發(fā)產(chǎn)物中的液相部分將增加,切口光潔度下降。優(yōu)化激光加工工藝參數,減少熔體份量并消除熔體的濺射,可降低電阻器的漏泄電流。
                     三工精密激光調阻調阻完成后所產(chǎn)生的漂移現象并不會(huì )太明顯,而且激光調阻精度,速度等一系列效果都是很棒的,對比國外的設備價(jià)格方面也是占據了絕大部分的優(yōu)勢! 
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