厚膜電阻使用激光調阻機進(jìn)行調阻原因
在混合集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中，激光調阻是很重要的一個(gè)環(huán)節。特別是厚膜電阻，往往燒成后的實(shí)際阻值與電阻標稱(chēng)值的誤差很大。需要進(jìn)行調阻也就是微調。
三工精密的
激光調阻機調阻過(guò)程是高能量的聚焦激光束照射到電阻膜上，使電阻體局部區域溫度瞬間升高，通過(guò)對電阻體氣化蒸發(fā)實(shí)現厚膜電阻的切割，改變厚膜電阻的幾何形狀從而改變電阻的阻值，當厚膜電阻的阻值不斷接近目標阻值之后，調阻的過(guò)程關(guān)閉，即實(shí)現調阻的過(guò)程。
激光調節厚膜電阻，要根據所調電阻的面積、電阻線(xiàn)條寬度，電阻方數的不同選擇不同的激光切割形式，使電阻值調到最佳精度，同時(shí)兼顧激光微調對電阻穩定性和溫度系數的影響，以便得到高性能，高精度的厚膜電阻。