解析激光調阻機調阻過(guò)程
激光調阻機是利用激光工藝對薄膜或厚膜電阻進(jìn)行精密修整的關(guān)鍵設備，是集光學(xué)，精密機械，計算機控制，和精密測量等技術(shù)于一體的高技術(shù)微電子設備。其工作原理是把激光器發(fā)出的脈沖激光束聚焦成很小的光點(diǎn)，達到適當的能量密度，對薄膜電阻跟厚膜電阻的導電體進(jìn)行切割，使之膜層熔融，蒸發(fā)，以改變薄膜電阻跟厚膜電阻導電體的有效導電面積或有效長(cháng)度，達到調整薄膜電阻單元阻值的目的。由于切割中沒(méi)有化學(xué)過(guò)程并能在大氣中加工，所以可以實(shí)現測量的結果，并實(shí)現激光加工過(guò)程的自動(dòng)化。該設備具有精度高，效率高和工藝簡(jiǎn)便的特點(diǎn)。
激光調阻時(shí)首先對電阻的刻蝕圖形預先利用AutoCAD設計好，并輸入到計算機。計算機根據預制圖形產(chǎn)生激光束的強度與位置使激光按照一定的軌跡和路徑切割電阻，直到阻值達到預定值。它實(shí)現了激光加工過(guò)程的自動(dòng)化，并具有高精度、高效率的特點(diǎn)。