激光調阻機的光學(xué)系統簡(jiǎn)介
激光調阻機是通過(guò)激光打點(diǎn)切割,改變電阻體的導電截面積,從而達到把低于目標阻值的電阻體阻值修調到要求阻值允許的偏差范圍內,適用于片狀電阻器的快速大規模生產(chǎn).在激光調阻過(guò)程中,通過(guò)高精度的數字電橋實(shí)時(shí)監測阻值變化,控制調阻進(jìn)程,輔之以系統復雜的機械手操作,脈沖激光器高頻輸出,光束精確定位控制及其它機電操作控制,自動(dòng)完成每小時(shí)十幾萬(wàn)支電阻的調修生產(chǎn),是集光、機、電一體的現代化高科技生產(chǎn)設備.
調阻機光學(xué)系統主要由三部分組成:1)光源系統,2)光束掃描系統,3)光學(xué)監視系統.光源系統包括激光器、光束能量衰減器、擴束器等.作為激光調阻機的加工用光源,其特性參數對調阻效率、精度有直接影響,激光調阻時(shí),薄膜電阻材質(zhì)不同,所需要的激光功率也不同,通過(guò)在光路中加入衰減片的方法,可獲得穩定的調阻功率.光束掃描系統由雙向掃描振鏡和聚焦f-θ透鏡組構成,前者實(shí)現光束按要求偏轉,后者對光束進(jìn)行聚焦,使其焦點(diǎn)位于電阻片表面.聚焦鏡頭由多片透鏡組成,除有普通光學(xué)系統的一般要求外,還要求該鏡組達到掃描距離與掃描角度成線(xiàn)性關(guān)系.光學(xué)監視系統包括分光鏡、變焦鏡頭、CCD相機和照明光源等.分光鏡經(jīng)過(guò)特殊鍍膜處理,以實(shí)現對不同波長(cháng)光的透過(guò)及反射要求.調阻用的激光是單色光,f-θ聚焦鏡組在設計時(shí)無(wú)須考慮消色差.照明光源采用高亮度紅光二極管,可獲得清晰的觀(guān)察效果.