激光調阻中切槽質(zhì)量與影響因素的關(guān)聯(lián)定位分析
激光調阻機是現代微電子行業(yè)中的片阻生產(chǎn)設備,隨著(zhù)科技的高速發(fā)展,片阻以其體積小、成本低、精度高、性能好等優(yōu)點(diǎn),在很多領(lǐng)域已經(jīng)替代了舊式的圓柱形電阻。而且體積更小的片阻又在逐漸替代體積較大的片阻,這就要求激光調阻機的性能也在不斷地改進(jìn)和提高。
在激光調阻中，切槽質(zhì)量的評價(jià)主要包括清晰度、光滑度、平直度、垂直度和一致性等方面的內容，它們直接決定了生產(chǎn)片阻的品質(zhì)與等級。為了得到優(yōu)質(zhì)切槽，掌握切槽質(zhì)量與影響因素之間的關(guān)系，文章從兩個(gè)角度進(jìn)行分析。一是在復雜的光、機、電和計算機一體化的設備中，分析影響切槽質(zhì)量的幾個(gè)主要因素；二是重點(diǎn)分析并確定切槽質(zhì)量與相關(guān)因素的對應關(guān)系。根據這些分析就可以在切槽質(zhì)量發(fā)生不良時(shí)定性地得到原因并采取正確措施，無(wú)論是對調阻技術(shù)的改進(jìn)還是在片阻生產(chǎn)中都具有重要的指導意義。