影響激光調阻精度的工藝參數分析
影響激光調阻精度的工藝參數主要包括激光功率(平均功率、峰值功率、激光功率密度)、激光調Q頻率、光斑重疊率(等價(jià)掃描步長(cháng),影響調阻速度)和掃描速度。
調阻是被調片阻因激光能量受熱氣化而實(shí)現的，相反激光功率也不能過(guò)高,因為激光能量越高會(huì )在三個(gè)方面產(chǎn)生負作用:
第一,激光功率越高,被調片阻的氣化面積就越大,這樣片阻的阻值變化率就越大,調阻精度就越低;
第二,激光功率過(guò)高,沒(méi)有辦法使其產(chǎn)生同等程度的偏差,所以調阻精度也會(huì )下降。其次,調Q頻率對激光調阻精度的影響。激光調Q頻率對調阻精度的影響是通過(guò)激光峰值功率表現出來(lái)的,調Q頻率加大會(huì )增加激光平均功率,同時(shí)也會(huì )降低峰值功率,進(jìn)而影響調阻精度。
第三,光斑重疊率對激光調阻的影響。激光調阻中的光斑直徑約為30微米,光斑重疊率指相鄰兩個(gè)光斑的重疊百分比。光斑重疊率在三個(gè)方面影響激光調阻精度。一,光斑重疊率的大小影響聚焦在被調片阻的激光功率的高低;二,光斑重疊率的大小影響激光切割槽的光滑度;三,光斑重疊率還影響阻值變化率。
第四,掃描速度對調阻精度的影響。掃描速度在激光調阻中主要指掃描振鏡的轉速,它分為X方向振鏡轉速和Y方向振鏡轉速。掃描速度的選擇歸根結底取決于X方向振鏡和Y方向振鏡的小角度響應時(shí)間。掃描速度與X、Y振鏡的小角度響應時(shí)間的不同組合會(huì )產(chǎn)生不同的切割槽形狀,而切割槽形狀直接影響調阻精度的高低。
調阻是被調片阻因激光能量受熱氣化而實(shí)現的,所以激光功率不能過(guò)低,如果激光能量不足,則無(wú)法使被調電阻漿料氣化;相反激光功率也不能過(guò)高,因為激光能量越高會(huì )在三個(gè)方面產(chǎn)生負作用:第一,激光功率越高,被調片阻的氣化面積就越大,這樣片阻的阻值變化率就越大,調阻精度就越低;第二,激光功率過(guò)高,痕,,高,,并且沒(méi)有辦法使其產(chǎn)生同等程度的偏差,所以調阻精度也會(huì )下降！ ∑浯,調Q頻率對激光調阻精度的影響。激光調Q頻率對調阻精度的影響是通過(guò)激光峰值功率表現出來(lái)的,調Q頻率加大會(huì )增加激光平均功率,同時(shí)也會(huì )降低峰值功率,進(jìn)而影響調阻精度！ 〉
激光調阻工藝參數對調阻精度的影響分析_文庫下載http://www.wenkuxiazai.com/doc/04d9d342964bcf84b9d57beb-2.html
三,光斑重疊率對激光調阻的影響。激光調阻中的光斑直徑約為30微米,光斑重疊率指相鄰兩個(gè)光斑的重疊百分比。光斑重疊率在三個(gè)方面影響激光調阻精度。一,光斑重疊率的大小影響聚焦在被調片阻的激光功率的高低;二,光斑重疊率的大小影響激光切割槽的光滑度;三,光斑重疊率還影響阻值變化率！ 〉谒,掃描速度[2]對調阻精度的影響。掃描速度在激光調阻中主要指掃描振鏡[3]的轉速,它分為X方向振鏡轉速和Y方向振鏡轉速。掃描速度的選擇歸根結底取決于X方向振鏡和Y方向振鏡的小角度響應時(shí)間。掃描速度與X、Y振鏡的小角度響應時(shí)間的不同組合會(huì )產(chǎn)生不同的切割槽形狀,而切割槽形狀直接影響調阻精度的高低。
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