三工精密激光微調技術(shù)在厚薄膜電路上的應用
隨著(zhù)微電子工業(yè)發(fā)展,對厚,薄膜電路的需要也越來(lái)越大,對精度的要求也越來(lái)越高。
激光微調技術(shù)已在很多國家得到應用。激光用于調整厚、薄膜電路及硅上薄膜電路中的電阻特別有效;如高精度單片集成的數模轉換器用激光微調容易實(shí)現,還可調整電路中的某些元件參數,使電路達到總技術(shù)指標。微調技術(shù)即對電阻的阻值的微調。
現代微電子設備中常用兩種膜電路:
(1)薄膜電路
用鈕或鎳鉻合金或鉻硅材料通過(guò)真空蒸發(fā)在微品玻璃或硅片上,制成厚數百埃到數微米的薄膜,構成電阻網(wǎng)路,其體積小,精度高,與有源器件配合可做成各種小型電子器件;
(2)厚膜電路
用把、釘、氧化佗等電阻漿料印刷在陶瓷基片上,制成數十微米到數百微米厚的厚脫電阻網(wǎng)路,其體積較分立元件大大縮小,且有一定功率容氮,結構可靠穩定,廣泛用于各種電子設備中。
與傳統的機械磨蝕法(對厚膜)和電火花燒蝕法(對薄膜)相比,用激光對厚、薄膜電阻作微調的優(yōu)點(diǎn)有:
1.精度高,能在動(dòng)態(tài)下進(jìn)行
即微調過(guò)程中可隨時(shí)測量被調電阻的瞬時(shí)阻值,一旦達到所需值,加工過(guò)程即可停止。
2.效率高
三工精密激光調阻速度相對國內其它激光調阻產(chǎn)品高出4-10倍，產(chǎn)能大大提升，單位成本下降。
3.使用成本低
采用了最先進(jìn)的激光器，無(wú)耗材，使用成本最低，長(cháng)期使用節約大量的費用。