淺析激光調阻機是如何進(jìn)行調阻的以及調阻系統的組成
激光調阻機是利用激光工藝對薄膜電阻進(jìn)行精密修整的關(guān)鍵設備,是集光學(xué)、精密機械、計算機控制、和精密測量等技術(shù)于一體的高技術(shù)微電子設備。其工作原理是把激光器發(fā)出的脈沖激光束聚焦成很小的光點(diǎn),達到適當的能量密度,對薄膜電阻的導電體進(jìn)行切割,使之膜層熔融、蒸發(fā),以改 變薄膜電阻導電體的有效導電面積或有效導電長(cháng)度,達到調整薄膜電阻單元阻值的目的。
由于切割中沒(méi)有化學(xué)過(guò)程并能在大氣中加工,所以可以實(shí)時(shí)測量結果,并實(shí)現激光加工過(guò)程自動(dòng)化。
激光調阻設備具有精度高、效率高和工藝簡(jiǎn)便的特點(diǎn)。激光調阻時(shí)首先對電阻的刻蝕圖形預先利用AutoCAD設計好,并輸入到計算機。計算機根據預置圖形產(chǎn)生光束的強度與位置使激光按照一定的軌跡和路徑切割電阻,直到阻值達到預定值。激光切割實(shí)現了激光加工過(guò)程的自動(dòng)化,并具有高精度、高效率等特點(diǎn)。
激光調阻系統整體設計激光調阻系統主要由以下幾部分構成:
1)光學(xué)系統,包括激光器、調整激光光束質(zhì)量的光路、二維振鏡系統、機器視覺(jué)成像監控系統等。
2)機械運動(dòng)系統,實(shí)現平臺的精密二維運動(dòng)、垂直方向高度調節等功能。
3)自動(dòng)控制系統,對機械運動(dòng)系統、二維振鏡系統等運動(dòng)參數進(jìn)行精密控制