三工精密為您介紹激光在厚薄膜電阻上微調優(yōu)勢
激光用于厚薄膜電阻的微調具有很多優(yōu)點(diǎn)。首先是精度高，能在動(dòng)態(tài)下進(jìn)行。也就是說(shuō)，在調整過(guò)程中可隨時(shí)測量被調電阻的瞬時(shí)阻值，一旦達到所需值，加工過(guò)程即刻停止。如果激光器參數選得合適，微調就可達到與微量系統相應的精度，F代激光微調機微調精度的典型值是0.05%，也可實(shí)現0.02%或更小，其次，激光能量在無(wú)機械接觸的情況下到達工件，因而適合于加工硬脆材料，且對工作區域環(huán)境污染小，可減小調后漂移，再次，激光通過(guò)反射鏡偏轉能夠達到很高的偏轉速度，所以微調速度快，效率高，最后，由于激光微調便于實(shí)現自動(dòng)化，在經(jīng)濟性方面也優(yōu)于一般方法。
用激光微調電阻，目前有兩種方案。第一種是對電阻進(jìn)行無(wú)損傷照射，使膜的結構變化，從而使阻值發(fā)生改變，第二種是強光照射，將一部分電阻膜氣化去除，以減小導電膜的截面來(lái)增加阻值。這里主要討論第二種方案。
利用激光微調電阻，是一種熱加工方法。在很薄的表層是激光能量被吸收，并以熱的形式向材料內部傳輸。能量輸入的速率和可達到的極限深度睬與材料的熱時(shí)間常數有關(guān)外，主要取決于激光束特性。當激光的功率密度較高而脈沖寬度較窄時(shí)，可以在對襯底影響很小的情況下把薄膜汽化后去除，如果光束在工件表面聚焦為一個(gè)很小的光斑，則可在電阻膜上燒出一個(gè)小孔，使激光束與工件以適當速度相對運動(dòng)，一個(gè)個(gè)小孔連接成一條光滑的細線(xiàn)，從而減小了電阻膜的導電截面，使阻值增加，達到微調目的。由此可見(jiàn)，為了實(shí)現電阻膜的微調，并保證高的加工質(zhì)量，對所用激光的功率，聚焦性能，脈寬，脈沖重復率、波長(cháng)等都有相當嚴格的要求。