壓力傳感器與激光調阻工藝的完美組合
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐、儀器儀表控制中最為常用的一種傳感器，并廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。
壓阻式壓力傳感器又稱(chēng)為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應變計需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過(guò)硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。
壓力傳感器廣泛地應用于航天、航空、航海、石油化工、動(dòng)力機械、生物醫學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測量等各個(gè)領(lǐng)域。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個(gè)關(guān)鍵參數,對靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力,局部壓力和整個(gè)壓力場(chǎng)的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布，測試發(fā)動(dòng)機進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)畸變、葉柵的脈動(dòng)壓力和機翼的抖動(dòng)等。
單個(gè)傳感器直徑僅2.36毫米，固有頻率高達300千赫,非線(xiàn)性和滯后均為全量程的±0.22％。在生物醫學(xué)方面,壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。已制成擴散硅膜薄到10微米,外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測量心血管、顱內、尿道、子宮和眼球內壓力的傳感器。是一種用于測量腦壓的傳感器的結構圖。
壓阻式傳感器還有效地應用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監測和控制汽車(chē)發(fā)動(dòng)機的性能以及諸如測量槍炮膛內壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外，在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應用壓阻式壓力傳感器。
隨著(zhù)微電子技術(shù)和計算機的進(jìn)一步發(fā)展，壓阻式傳感器的應用還將迅速發(fā)展。因此對于壓力傳感器的精度與穩定度的要求也將越來(lái)越高，這就需要在壓力傳感器上進(jìn)行激光調阻工藝來(lái)實(shí)現傳感器在精度跟穩定度方面的需求，調阻是將壓力傳感器上的電阻通過(guò)激光微小的切割來(lái)達到所需要的阻值，從而提高精度跟穩定度！武漢三工精密生產(chǎn)的激光調阻機廣泛應用于壓力傳感器行業(yè)，真正實(shí)現了傳感器行業(yè)“質(zhì)”的飛躍！