激光調阻機微調系統主要構成
先進(jìn)的激光調阻機微調系統(激光調阻設備、激光調電阻設備)主要包括以下幾個(gè)部分:
(1)激光調阻機激光器部分采用氪激勵的高頻Q開(kāi)關(guān)、Nd:YAG激光器,厚膜修調最小光斑達38μm,脈沖重復頻率為500Hz~50kHz。
(2)激光調阻機光束定位系統分為線(xiàn)性馬達式、開(kāi)環(huán)和閉環(huán)檢流計式等?刂乒馐赬和Y方向的位置、速度和加速度?s短光束定位時(shí)間和修調時(shí)間,工作效率高。
(3)激光調阻機程控衰減系統由多個(gè)衰減器組成,以控制在衰減后用于光束游動(dòng)并進(jìn)入紅外相機的輸出信號。
(4)激光調阻機修調設定器它直接與激光器、光束定位器、分步重復臺及測量系統相聯(lián)接。它可以通過(guò)程序改變Q頻率、刻蝕尺寸和改變切割的修調方向,決定阻值變化,而不影響精度。另外,還具有自動(dòng)校正功能,在長(cháng)期工作時(shí)可使修調設定值保持穩定。
(5)激光調阻機阻值及電壓測定裝置采用精密電橋和矩陣組合的測試無(wú)源網(wǎng)絡(luò ),阻值測量精度可達0.02%,測量時(shí)間僅為5ms。這種設計可以防止外界干擾,且由于采用差動(dòng)測量,自動(dòng)消除偏離及極性轉換,還可用來(lái)測定有源電路修調時(shí)的直流電壓。
(6)自動(dòng)功率測量系統激光器功率測量是利用最低限度的中斷通過(guò)測量來(lái)測定。用微機控制螺形管驅動(dòng)系統,激光束通過(guò)衰減器內的100%反射鏡,射向熱電偶器件,然后送到1個(gè)多量程功率計。
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