激光微調技術(shù)可對指定電阻進(jìn)行自動(dòng)精密微調。精度可達0.01%一0.002%比傳統方法的精度和效率高,成本低。集成電路、傳感器中的電阻是一層電阻薄膜,制造誤差達上15一20%只有對之進(jìn)行修正,才能提高那些高精度器件的成品率。
激光可聚焦成很小的光斑,能量集中,加工時(shí)對鄰近的元件熱影響極小,不產(chǎn)生污染,又易于用計算機控制,因此可以滿(mǎn)足快速微調電阻使之達到精確的預定值的目的加工時(shí)將激光束聚焦在電阻薄膜上,將物質(zhì)汽化。
微調時(shí)首先對電阻進(jìn)行測量,把數據傳送給計算機,計算機根據預先設計好的修調方法指令光束定位器使激光按一定路徑切割電阻,直至阻值達到設定值,同樣可以用激光技術(shù)進(jìn)行片狀電容的電容量修正及混合集成電路的微調。優(yōu)越的定位精度,使激光微調系統在小型化精密線(xiàn)形組合信號器件方面提高了產(chǎn)量和電路功能。
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