激光調阻機測量誤差指測量系統測得值與真實(shí)值之間的差異。測量系統電路的精心設計及選用高性能的器件可保證測量系統的高穩定性和微小波動(dòng)性，并能一定程度地提高測量精度。實(shí)際應用發(fā)現，雖精心設計測量系統電路并選用高性能的器件，測量系統的測量誤差對測量精度仍有較大影響，進(jìn)而對調阻精度產(chǎn)生不可忽視的影響。
通過(guò)測量系統電路的精心設計及選用高性能的器件這兩方面的改進(jìn)來(lái)減小測量誤差，提高測量精度是有限度的，而且成本高、周期長(cháng)。所以，為保證調阻精度，需探求其他方法來(lái)減小測量誤差對測量精度及調阻精度的影響。
激光調阻機測量系統的測量誤差主要由電壓源誤差、標準電阻誤差、檢流計誤差(包括多量程的模擬電路誤差、電流／電壓轉換誤差)及A／D量化誤差等造成。其中，電壓源誤差在保證其高穩定性和微小波動(dòng)性的前提下主要體現為D／A 的線(xiàn)性度誤差。經(jīng)設計調試，該誤差可控制在幾十肚V級之內且能保持恒定不變，所以電壓源誤差可看作恒定的系統誤差；標準電阻誤差、A／D量化誤差及檢流計誤差中的電流／電壓轉換誤差亦看作恒定的系統誤差。
檢流計誤差中的多量程(20 A～200 mA)模擬電路誤差，對不同的電流檔可看成恒定的系統誤差，但由于多量程檢流計共用一個(gè)電流／電壓轉換電路，因此造成系統最終的測量電壓(測量系統測得值，被送至阻值計算單元)誤差在幾1"nV到幾百1"nV 之間變化。由于檢流計不同量程的模擬電路誤差是不同的，所以激光調阻機測量誤差相應地由多檔測量誤差組成，稱(chēng)為激光調阻機多檔測量誤差。
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